一种原子力显微镜中蠕变迟滞非线性特性补偿方案

摘要：

压电陶瓷通常用于原子力显微镜(AFM)中的扫描器中,但是在无补偿开环控制中压电陶瓷在输入电压与输出位移之间表现出明显的迟滞和蠕变非线性特性,使得扫描所得图像失真.为此,针对原子力显微镜X轴的需求,采用了分步补偿的办法,先补偿蠕变特性而且可以简化迟滞补偿的算法,很大程度上减轻了图像的失真,使整个控制算法简单,无需复杂的运算,降低了对控制系统处理器的要求,降低设备成本.

关键词： 原子力显微镜 压电驱动器 蠕变特性 迟滞补偿算法 纳米定位

作者: 肖祥丽 张承进

作者单位: 山东大学控制科学与工程学院,山东,济南,250061

会议类型: 国内会议

会议名称: 华东六省一市自动化学会第21届学术年会——福建省科协第八届学术年会卫星会议

会议地点: 福州

会议语种:中文

页码: 4-7

在线出版日期: 2008-10-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）