微波陶瓷介质谐振器激光微调系统

摘要：

提出一种采用激光微调微波陶瓷介质谐振器的方法.该方法利用激光加工具有高精度、快速的优点,通过汽化部分陶瓷材料,在介质谐振器的表而形成不同尺寸及形状的刻蚀槽.采用变分法,求解了介质谐振器在刻蚀位置及尺寸不同的情况下的谐振频率.设计了激光微调的装置,利用虚拟仪器语言编写了控制程序.数值计算结果与实验结果进行了比较,结果表明,通过激光刻蚀,可实现较高精度地调节微波陶瓷介质谐振器的谐振频率.

关键词： 微波陶瓷介质 介质谐振器 谐振频率 激光微调系统 虚拟仪器 控制程序 激光刻蚀

作者: 杨国山 张邦成 肖芬

作者单位: 厦门大学物理学系 厦门 361005

会议类型: 国内会议

会议名称: 第19届中国过程控制会议

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 519-522

在线出版日期: 2008-07-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）