气体质量流量自动控制器性能研究
针对气体质量流量自动控制器控制精密小流量在环测仪器中的应用越来越多,且目前对这种器件的研究较少的情况,本文详细介绍了DSN型气体质量流量控制器和DSN-2000气体质量积算仪的原理和系统构成,并对其性能进行了评测试验.结果表明国产的气体质量流量自动控制器精度高、稳定性好、流量控制范围宽、响应速度快,研究表明流量控制的稳定性随控制流量的增大而降低,流量控制的精度随控制流量的增大而升高.因此在设定控制流量大小时须从流量控制的稳定性和精度两方面综合考虑,使流量控制的效果达到最佳.
气体质量流量 流量自动控制器 性能测评 比例采样 环测仪器 稳定性
向蔡生 何振江 胡仁义
华南师范大学物理与电信工程学院 广州 510006
国内会议
北京
中文
511-514
2008-07-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）