微型零件几何量显微视觉测量系统的研制

摘要：

针对计量测试领域中小尺寸测量这一难点,设计并研制出一套显微视觉测量系统,完成对微型零件几何量的测量.以半导体芯片导线线宽测量为例,介绍了光学系统的设计,给出了显微测量系统的硬件组成.采用类判别分析法选取阈值完成图像分割,并通过对标准件的测量实现了显微测量系统的标定.最后,给出了芯片导线线宽的测最结果,理论计算及实验结果表明,该系统具有较高的测量精度,为微型零件的检测提供了有用的工具.

关键词： 显微视觉测量 类判别分析法 标定实验 微型零件几何量 光学系统 显微测量系统

作者: 余厚云 杨明 赵转萍

作者单位: 南京航空航天大学机电学院 江苏 南京 210016 东南大学仪器科学与工程学院 江苏南京 210096 南京航空航天大学机电学院 江苏 南京 210016

会议类型: 国内会议

会议名称: 第19届中国过程控制会议

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 498-500

在线出版日期: 2008-07-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）