基于有色赋时Petri网的半导体生产线建模与仿真实现

摘要：

半导体生产线由于存在重入、并发、多目标、多约束以及突发性设备故障等现象,使得调度问题变得极为复杂.为了有效分析和评价半导体生产线调度与控制性能,本文对前人的模型加以改进,建立了基于扩展的有色赋时Petri网的半导体生产线层次化模型,将其转化为eM-Plant仿真模型.使用不同的调度策略进行仿真,证明了模型的有效性和合理性。

关键词： 半导体生产线 有色赋时Petri网 多约束 控制性能 层次化模型 eM-Plant仿真模型

作者: 余红霞 乔非 曹政才

作者单位: 同济大学CIMS研究中心,上海,201804

会议类型: 国内会议

会议名称: 第19届中国过程控制会议

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 117-122

在线出版日期: 2008-07-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）