电感耦合射频等离子体增强化学气相沉积类金刚石薄膜:偏压的影响

摘要：

采用电感耦合射频等离子体增强化学气相沉积的方法,在202不锈钢基体上制备了类金刚石碳薄膜,利用X射线光电子能谱、拉曼光谱和三维表面轮廓仪对不同脉冲偏压下沉积的薄膜组成、结构及其表面形貌进行了分析,并通过纳米压痕试验对薄膜的机械性能进行了研究。发现随着脉冲偏压的增加,sp3碳含量和硬度均呈现先增加后降低的变化趋势,在低偏压下,薄膜表面存在着大量的凸起,随着偏压的升高,凸起逐渐转化为孔洞。结果表明,sp3碳含量是决定薄膜硬度的重要因素,薄膜的生长过程是表面吸附和离子注入共同作用的结果。

关键词： 类金刚石薄膜 电感耦合 等离子体增强 化学气相沉积 力学性能

作者: 吉利 李红轩 赵飞 权伟龙 陈建敏 周惠娣

作者单位: 中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室 兰州 730000 中国科学院研究生院 北京 100049 中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室 兰州 730000

会议类型: 国内会议

会议名称: 第7届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 353-356

在线出版日期: 2008-04-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）