高性能类金刚石碳膜的制备

摘要：

采用中频磁控溅射技术在单晶硅表面制备含铝类金刚石(Al-DLC)薄膜,利用原子力显微镜、X射线光电子能谱仪、纳米压痕仪和微摩擦磨损实验机等考察了薄膜的表面形貌、结构及其摩擦磨损性能。结果表明:所制备的含铝类金刚石薄膜均匀、致密,表面粗糙度小,应力较低,硬度较高；薄膜与Si3N4陶瓷球对摩表现出良好的抗磨减磨性能,耐磨寿命超过3×105次。

关键词： 磁控溅射 摩擦磨损 类金刚石薄膜

作者: 王云锋 王立平 张广安 王君 闫鹏勋 薛群基

作者单位: 中国科学院兰州化学物理研究所 固体润滑国家重点实验室,甘肃 兰州 730000 兰州大学 等离子体与金属材料研究所, 甘肃 兰州 730000 中国科学院兰州化学物理研究所 固体润滑国家重点实验室,甘肃 兰州 730000 兰州大学 等离子体与金属材料研究所, 甘肃 兰州 730000

会议类型: 国内会议

会议名称: 第7届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 204-206

在线出版日期: 2008-04-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）