改善类金刚石膜性能的方法研究

摘要：

针对类金刚石膜存在的内应力大、热稳定性差等缺点,提出了相应的解决方法,并通过反应磁控溅射技术制备了掺杂Ti、Zr金属元素的DLC薄膜,将掺杂DLC薄膜与未掺杂DLC薄膜进行了比较,结果表明掺杂金属的DLC膜能够明显降低薄膜内应力,提高薄膜热稳定性,对于含氢DLC膜,金属的掺杂还提高了薄膜的硬度,但掺杂后的摩擦系数变大。

关键词： 类金刚石薄膜 热稳定性 金属掺杂 磁控溅射

作者: 马国佳 张华芳 武洪臣 彭丽平

作者单位: 高能束流加工技术国防科技重点实验室,北京航空制造研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 第7届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 199-203

在线出版日期: 2008-04-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）