大气压离子枪制备类金刚石薄膜的光谱诊断研究
在大气压下,以Ar为辅助气体,CH4为反应单体,利用发射光谱对介质阻挡放电(DBD)等离子枪制备类金刚石的甲烷等离子体的活性粒子进行光学发射特征的原位诊断并由此分析了制备类金刚石过程中甲烷可能的离解过程。通过对检测到的等离子中发射光谱谱图的研究,证实等离子中CH、C2、Ha等自由基粒子的存在,研究不同的实验参数,如放电电压和气体流量对CH活性粒子发射强度的影响,同时计算了不同条件下的电子温度。
发射光谱 类金刚石薄膜 等离子枪 电子温度 光谱诊断
张军峰 边心超 陈强 张跃飞 刘福平
北京印刷学院印刷包装材料与技术北京市重点实验室,等离子体物理及材料研究室,北京,102600
国内会议
武汉
中文
233-237
2008-04-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）