会议专题

焦磷酸盐体系电沉积铜的择优取向研究

为获得可控织构的电沉积铜层,本文在焦磷酸盐、恒电流电沉积体系下制备了铜镀层,对镀层进行XRD衍射分析,探讨了电流密度、镀层厚度对镀层晶面取向指数的影响,提出了在该体系下获得(111)、(200)择优取向的优化方案。

焦磷酸盐 电沉积铜 铜镀层 电流密度

赵鹏 浦玉萍 张永强

钢铁研究总院粉末冶金研究室,北京,100081

国内会议

第7届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛

武汉

中文

227-229

2008-04-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)