射频功率和沉积时间对类金刚石薄膜结构及摩擦学性能的影响

摘要：

以C2H2为碳源,Ar气为辅助气体,利用射频等离子体化学气相沉积的方法在载玻片上成功地制备了类金刚石（DLC)薄膜。通过红外光谱(FTIR)光谱分析了所制备DLC薄膜的结构；利用原子力显微镜(AFM)分析了薄膜的表面形貌；另外,实验中还利用摩擦磨损仪对薄膜的机械性能进行了研究。实验结果表明,制备的DLC薄膜比较致密,均匀,有较好的耐磨性能。

关键词： 类金刚石膜 结构分析 摩擦性能 射频功率 等离子体化学气相沉积

作者: 杨莉 陈强

作者单位: 北京印刷学院印刷包装材料与技术北京市重点实验室,等离子体物理及材料研究室,北京,102600

会议类型: 国内会议

会议名称: 第7届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 130-133

在线出版日期: 2008-04-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）