负偏压对线性离子束沉积类金刚石薄膜的结构和性能的影响

摘要：

本文采用线性离子束来制备DLC薄膜,并研究偏压对DLC膜结构和性能的影响。研究表明,随偏压增加,薄膜残余应力和力学性能呈相似的变化趋势,先增加后减小,但残余应力在-100V最大,而硬度和附着力在-200V最大。Raman结果显示,薄膜残余应力主要与C-Csp3键含量有关.而薄膜硬度除受sp3键含量影响外,还可能与薄膜致密度有关。

关键词： 类金刚石薄膜 机械性能 力学性能 离子束沉积

作者: 代伟 汪爱英 徐采云 吴国松 孙丽丽

作者单位: 宁波材料技术与工程研究所,宁波,315201

会议类型: 国内会议

会议名称: 第7届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 122-125

在线出版日期: 2008-04-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）