类金刚石(DLC)薄膜的激光表面毛化工艺研究
利用线性离子束沉积技术在单晶硅衬底表面制备类金刚石(DLC)薄膜,采用波长为1070 nm的连续光纤激光器扫描DLC薄膜,研究了激光功率密度和薄膜成分对薄膜刻蚀工艺的影响,表征了激光刻蚀区薄膜的表面形貌和截面轮廓。结果表明,在薄膜的激光毛化工艺中存在激光损伤阈值和刻蚀阈值,当激光能量在激光损伤阈值和刻蚀阈值之间时,DLC薄膜的可见光透过率下降,密度变小;当激光能量大于刻蚀阈值时才能完成DLC薄膜的表面毛化。同时,含氢DLC薄膜的激光刻蚀阈值较小。
激光毛化 类金刚石薄膜 离子束沉积 激光刻蚀
李爱魁 汪爱英 孙丽丽 徐采云
中国科学院宁波材料技术与工程研究所,宁波,315201
国内会议
武汉
中文
119-121
2008-04-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)