大气压射频放电中N2、O2粒子间相互作用数值模拟

摘要：

在大气压条件下,基于多离子流体力学模型,采用数值计算方法研究了射频(RF)放电过程中电子密度、电子能量密度、氮与氧带电粒子密度等在相互作用过程中的时空演化特征。模拟了放电极板间的电子、离子分布,分析了粒子间的碰撞效应等,讨论了各种粒子成分数密度随时间和空间的变化规律。

关键词： 大气压 射频放电 数值模拟 电子密度

作者: 霍纯青 刘福平 陈强

作者单位: 北京印刷学院,印刷包装材料与技术北京市重点实验室,北京,大兴,102600

会议类型: 国内会议

会议名称: 第7届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 270-274

在线出版日期: 2008-04-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）