PECVD聚合胺基功能薄膜的研究
本文采用平板式电容耦合射频(RF,13.56MHz)等离子体源,以丙烯胺(allylamine)为聚合单体,氩气为辅助气体,沉积合胺基的功能薄膜。实验研究了等离子体放电功率对聚合物表面结构、稳定性和功能团含量等的影响。利用傅立叶变换红外光谱(FTIR)、X射线光电子能谱(XPS)和视频光学接触角测量仪(DSA100),对同一条件下聚合胺基薄膜的结构、成分进行了细致的分析。结论是:等离子体PEGVD方法能有效的聚合富含胺基的薄膜,且胺基的含量随功率增加而增大,一定范围内,功率越大,薄膜的化学结构与单体更相近,功能团密度越多,而且制备的薄膜的稳定性较好。
丙烯胺 薄膜 电容耦合射频 等离子体源 红外光谱
胡文娟 谢芬艳 陈强 蔡惠平
北京印刷学院印刷包装材料与技术北京市重点实验室,北京,大兴,102600
国内会议
武汉
中文
266-269
2008-04-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）