非平衡磁控溅射CrMoN涂层性能研究
在不同Mo靶偏流下采用非平衡闭合场磁控溅射方法在Cr12MoV冷作模具钢表面制备CrMoN涂层,通过XRD、EDX、显微硬度、划痕和磨损试验综合分析涂层相结构和的表面性能。实验结果表明,不同工艺下的CrMoN涂层表面光滑、致密,(Cr,Mo)N在(111)晶面呈现最强衍射峰。涂层与基体均具有良好的界面结合。Cr12MoV经PVD处理后,表面承载能力和耐磨性得到了明显的提高。当Mo含量为22.8％时,12h试样磨损体积仅为未处理试样的9.5％。
磁控溅射 涂层性能 相结构 耐磨性能
徐润翔 施雯 陈智勇 施佳敏
上海大学材料科学与工程学院,上海,200072
国内会议
武汉
中文
253-255
2008-04-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）