关键词： 电子产品 成膜技术 薄膜
作者: 伊藤隆生
作者单位: 真空技术(株)会社电子机器营业本部
会议类型: 国内会议
会议名称: 全国薄膜学术讨论会
会议地点: 上海
会议语种:中文
页码: 151～160
在线出版日期: 1999-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）