等离子体增强电化学表面陶瓷化(PECC)技术

摘要：

本文介绍一种全新的铝、钛，铌，锆、钽等阀金属和半导体硅、镓、锗等表面处理技术，通过在电解质中等离子体弧光放电增强的电化学反应和热化学反应，在工件表面得到一特性优异的陶瓷膜层。其工艺较传统的阳极氧化工艺简单，处理时间短，膜层性能优异，花色品种多，镀液的污染极小，易于形成自动化生产。本文还介绍了等离子放电的一些理论问题。

关键词： 等离子体 弧光放电 表面陶瓷化 陶瓷化膜 金属表面处理

作者: 孔庆山

作者单位: 哈尔滨三利亚股份有限公司 150090

会议类型: 国内会议

会议名称: 2003年国际轻金属表面精饰技术论坛

会议地点: 哈尔滨

会议语种:中文

页码: 14-16

在线出版日期: 2003-01-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）