蓬勃发展的金刚石薄膜材料

摘要：

自1982年日本无机材料研究所的研究人员在世界上首次宣布人工合成金刚石薄膜获得成功以来，国内外对该材料研究久演不衰，其原因在于它是一种独具魅力的新型电子材料。金刚石薄膜是迄今为止已知材料中硬度最大、透光范围最宽、声速最大、室温下热导率最高的材料，除此之外，它还具有带隙宽、载流子迁移率高和极佳的化学稳定性，它在电学、光学、升学、热学、机械以及军事领域中有着广泛的应用前景。本文介绍了金刚石薄膜的特性与应用，并就金刚石薄膜的制备技术进行简述。

关键词： 金刚石 薄膜材料 电子材料

作者: 张臣

作者单位: 中国电子材料行业协会

会议类型: 国内会议

会议名称: 2004年全国电子专用化学品高新技术与市场研讨会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 164-168

在线出版日期: 2004-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）