专用复合型表面活性剂在微电子技术中的应用

摘要：

FA/O活性剂以其特有的降低表面张力特性、分散悬浮及润湿渗透作用在微电子工业中应用越来越广泛，尤其是在硅材料的切片、磨片、抛光及清洗工艺中的应用已成为减少损伤、缺陷和污染的必不可少的辅助材料。本文主要对表面活性剂的作用机理及对硅表面性能的影响进行分析讨论。

关键词： 硅片 表面活性剂 微电子技术

作者: 檀柏梅 刘玉岭 赵之雯 郝子宇 周建伟 王胜利

作者单位: 河北工业大学信息工程学院 300130

会议类型: 国内会议

会议名称: 2004年全国电子专用化学品高新技术与市场研讨会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 157-163

在线出版日期: 2004-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）