电子束化学增幅抗蚀剂国内外现状及发展趋势

摘要：

IC与ULSI产业国内外现状及发展趋势ULSI是现代信息产业和信息社会的基础，是制造和提升传统产业的核心技术。随着全球信息化、网络化和知识经济浪潮的到来，ULSI产业的地位越来越重要，它已成为事关国民经济、国防建设、人民生活和信息安全的基础性、战略性产业。本文分析了ULSI产业对电子束化学增幅抗蚀剂的市场需求，介绍了电子束化学增幅抗蚀剂的国内外现状及发展。

关键词： 集成电路 信息安全 电子束 化学增幅抗蚀剂

作者: 刘干

作者单位: 无锡市化工研究设计院 214031

会议类型: 国内会议

会议名称: 2004年全国电子专用化学品高新技术与市场研讨会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 45-49

在线出版日期: 2004-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）