带电清洗还运行中的精密电子设备应用技术与理论研究
本文包括三方面主要内容，第一，把带电清洗技术作为系统T程来研究，建立了带电清洗技术的质量保障体系。该体系在施工实践中已证明是行之有效的。第二，研究并建立了以测量离子污染度来评价带电清洗洗净效果的方法，试验数据不仪证明了对运行设备进行清洗的必要性，而且证明了该法在评价带电清洗洗净效果方面的可行性。此外，还研究了以扫描电镜与能谱分析来评价带电清洗洗净效果的方法，也获得了很好的效果。第三，利用计算机实现精确的设计、计算，建立模型并求解。这项研究获得了成功。
精密电子设备 带电清洗 离子污染度 扫描电镜 能谱分析 清洗效果
凌志 郑凤萍
广州高奇环保技术有限公司
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2003-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）