会议专题

厚膜电路的清洗替代技术

本文对厚膜混合集成电路产品的ODS清洗替代项目的技术路线和试验进行了分析。通过对厚膜电路产品污染物、在厚膜电路产品制造过程中各主要工艺阶段不同的清洗目的、被清洗污染物、对清洗效果的不同要求的分析,正确地选择出了替代技术路线。

厚膜集成电路 清洗替代技术 ODS清洗替代 清洗工艺 清洗效果

贺敏

陕西华经微电子股份有限公司

国内会议

2003年清洗技术国际论坛

北京

中文

190-201

2003-11-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)