硅晶片生产工艺中的清洗技术
本文指出了清洗工艺在集成电路制程中的重要性,详细介绍了目前广泛采用的几种清洗方法的清洗原理、特点、存在的问题以及发展的方向。
硅晶片生产 集成电路制程 清洗工艺 表面活性剂 超声清洗
李薇薇
河北工业大学微电子研究所
国内会议
北京
中文
129-139
2003-11-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
硅晶片生产 集成电路制程 清洗工艺 表面活性剂 超声清洗
李薇薇
河北工业大学微电子研究所
国内会议
北京
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129-139
2003-11-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)