MS303晶片电阻率测试系统的校准方法及不确定度的分析

摘要：

MS303晶片电阻率测试系统能够测试直径(50-150)mm晶片的电阻率。在测试过程中能够提供实时晶片电阻率读数。为了确认仪器的精确度和可靠性是否能达到预期的使用要求，需要对仪器的技术能力进行周期校准或核查，使机器始终处于受控状态。本文介绍了MS303晶片电阻率测试系统的测试原理及校准程序，并对其测量不确定度进行了分析。

关键词： MS303晶片 电阻率测试系统 校准程序 数据处理 测量不确定度

作者: 石雅珍

作者单位: 中国电子科技集团公司第四十六研究所计量站 300220

会议类型: 国内会议

会议名称: 第二十二届中国(天津)”2008IT、网络、信息技术、电子、仪器仪表创新学术会议

会议地点: 天津

会议语种:中文

页码: 77-80

在线出版日期: 2008-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）