等离子复合处理技术制备光催化性能TiO2薄膜

摘要：

利用离子渗镀和真空热氧化复合处理技术，在不锈钢表面制备成分结构可控的TiO2薄膜。借助图像分析仪、辉光放电光谱分析仪（GDOES）和X射线衍射仪对薄膜进行表征与分析。以苯酚废水为对象进行了光催化降解试验，对比研究了不锈钢基材TiO2薄膜与商品TiO2粉末的光催化活性。结果表明：在400-600℃工艺温度范围，不锈钢表面均形成了致密、均匀的锐钛矿型TiO2薄膜，且Ti、O元素呈梯度分布；TiO2薄膜具有较高的光催化活性，3h内降解率达74.5％。

关键词： 二氧化钛薄膜 光催化性能 等离子复合处理 离子渗镀 真空热氧化复合处理

作者: 王鹤峰 李秀燕 杨成全 唐宾

作者单位: 太原理工大学表面工程研究所,山西 太原 030024 山西大同大学 物理与电子科学学院,山西 大同 037009

会议类型: 国内会议

会议名称: 2008年全国荷电粒子源、粒子束学术会议

会议地点: 哈尔滨

会议语种:中文

页码: 188-192

在线出版日期: 2008-09-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）