PECVD法沉积类金刚石膜的研究
以C2H2为碳源，Ar气为辅助气体，利用射频等离子体化学气相沉积的方法在载玻片和PET膜上制备了类金刚石（diamond-like carbon，DLc）薄膜。利用红外光谱（FTIR）和视频光学接触角测量仪（DSA100）对类金刚石薄膜的结构、成分进行了细致的分析；利用原子力显微镜（AFM）分析了薄膜的表面形貌；同时，透氧测试来研究薄膜的阻隔性能与薄膜的结构之间的关系。另外，还利用摩擦磨损仪对薄膜的机械性能进行了研究。实验结果表明，PECVD制备的DLC薄膜比较致密、均匀，有较好的耐磨性能。
类金刚石膜 薄膜结构 薄膜成分 耐磨性能 射频等离子体化学气相沉积
杨莉 陈强
北京印刷学院印刷包装材料与技术北京市重点实验室 北京 102600
国内会议
哈尔滨
中文
146-153
2008-09-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）