磁过滤阴极真空弧法制备纳米nc-ZrCN/a-C：H(N)复合薄膜的研究

摘要：

采用磁过滤阴极弧法，以金属Zr为阴极在真空室中通入C2H2和N2混合气体来制备纳米nc—ZrCN/a-C：H（N）复合薄膜，用X射线衍射（XRD）、扫描电镜的能谱仪（SEM-EDS）、X射线电子能谱（XPS）和纳米力学探针研究了薄膜的成分、结构及其性能。实验结果表明薄膜是由ZrCN和无定形碳两种纳米结构组成；气体流速对复合膜的的成分和结构有显著影响：随着混合气体流速的增加，薄膜的锆原子百分比减小，而N和C的含量逐渐增大，薄膜的硬度逐渐减小，ZrCN峰强度逐渐降低。

关键词： 纳米复合薄膜 磁过滤阴极真空弧法 薄膜成分 薄膜结构 薄膜性能

作者: 周奎 张旭 吴先映

作者单位: 北京师范大学射线束技术与材料改性教育部重点实验室 北京师范大学低能核物理研究所 北京市辐射中心,北京,100875

会议类型: 国内会议

会议名称: 2008年全国荷电粒子源、粒子束学术会议

会议地点: 哈尔滨

会议语种:中文

页码: 134-138

在线出版日期: 2008-09-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）