制备光学薄膜的离子源技术

摘要：

众所周知，制备高质量的光学薄膜已经离不开离子束技术。光学膜要求高硬度及高附着力，一般采用离子束清洗加以改善，要求降低由于薄膜吸潮引起波长向长波漂移，降低薄膜的吸收及散射引起的光学损耗，降低薄膜的抗激光损伤，一般均采用合适工艺的离子束辅助镀膜技术来解决。本文叙述了制备光学薄膜的各种常用辅助镀膜离子源工作原理，关键技术，并制表予以比较。

关键词： 光学薄膜 离子源 离子束辅助镀膜

作者: 尤大伟

作者单位: 中科院空间中心 北京 100080

会议类型: 国内会议

会议名称: 2008年全国荷电粒子源、粒子束学术会议

会议地点: 哈尔滨

会议语种:中文

页码: 112-120

在线出版日期: 2008-09-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）