油冷却潘宁离子源引固态离子的研究与应用

摘要：

油冷却潘宁源能电离引出气态物质离子，通过改进还能电离引出固态物质元素的离子，到目前为止，引出的固态物质熔点从156℃的铟到3000℃的钽都能引出所需的离子。束流达到靶上的强度从1μA左右到几十个μA。并在LC-4型高能离子注入机上成功地进行了离子注入。本文首先介绍了油冷却潘宁离子源电离引出固态元素离子的原理与结构，然后介绍了利用油冷却潘宁离子源电离引出金属与稀土离子。

关键词： 油冷却潘宁离子源 固态元素离子 离子注入

作者: 徐嘉东 李建明

作者单位: 中国科学院半导体研究所 北京市海淀区清华东路甲35号 中国科学院半导体研究所 北京市海淀　区清华东路甲35号

会议类型: 国内会议

会议名称: 2008年全国荷电粒子源、粒子束学术会议

会议地点: 哈尔滨

会议语种:中文

页码: 71-73

在线出版日期: 2008-09-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）