硬质合金表面硬质薄膜的制备和性能分析

摘要：

利用热阴极离子镀技术改变主弧电流,控制镀膜时间等参数,在硬质合金基体上制备了TiN薄膜；利用XRD、自动划痕仪、SEM和显微硬度计对所制备的样品进行了结构分析和性能检测.结果表明,生成的膜层是单一的TiN薄膜,所得膜层晶体是细小的柱状晶,膜基结合力最小77N,最大可达98N,显微硬度最高可达HV2757。

关键词： 硬质合金 硬质薄膜 氮化钛薄膜 热阴极离子镀 表面处理 膜基结合力 显微硬度

作者: 刘志远 赵广彬 陈甥怡 曹晓英 栾道成

作者单位: 西华大学材料科学与工程学院,四川,成都,610039

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届全国搜索引擎和网上信息挖掘学术研讨会

会议地点: 南昌

会议语种:中文

页码: 92-94

在线出版日期: 2008-04-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）