内表面等离子体增强化学气相沉积TiN涂层研究

摘要：

介绍了一种新型等离子体增强化学气相沉积内表面复合处理系统.利用此系统沉积TiN涂层的结果表明,φ100 mm×1000 mm 316不锈钢管内表面沉积涂层相对均匀,且具有较好的表面特性和机械特性。

关键词： 等离子体增强 化学气相沉积 氮化钛涂层 不锈钢管 内表面沉积 表面特性 机械特性

作者: 金凡亚 王珂 赵嘉学 沈丽如 陈庆川 童洪辉

作者单位: 核工业西南物理研究院,四川,成都,610041

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届中国热处理活动周

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 93-95

在线出版日期: 2008-08-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）