非对称双极脉冲反应磁控溅射制备TiN/ZrN多层膜

摘要：

采用非对称双极脉冲磁控溅射制备了一系列不同调制周期的TiN/ZrN纳米多层膜,利用X射线衍射分析(XRD)、纳米压痕仪、扫描电子显微镜(SEM)表征了薄膜的微观结构、力学性能和断口形貌。结果表明,在调制周期为30 nm时,纳米硬度达到38 GPa。

关键词： 氮化钛 氮化锆 纳米多层膜 力学性能 纳米硬度 磁控溅射

作者: 徐俊波 池成忠 陈良贤 纪殿友 李成明 吕反修

作者单位: 北京科技大学,材料科学与工程学院,北京,100083 北京科技大学,材料科学与工程学院,北京,100083;廊坊恒宇工具有限公司,河北,廊坊,065000 廊坊恒宇工具有限公司,河北,廊坊,065000

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届中国热处理活动周

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 83-85

在线出版日期: 2008-08-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）