混合产品制程中基于变权值EWMA的批间控制方法研究
批间(Run-to-Run，R2R)控制已广泛应用于半导体生产行业。指数加权移动平均(Exponent Weighted Moving Average，EWMA)反馈控制是R2R控制的一种重要算法。折扣因子(Discount Factor)是EWMA控制器的主要参数。一般的半导体生产过程研究都是针对单一产品，然而在实际生产中同一生产线往往生产不同的产品。本文以实际生产过程中混合产品少量多样的特点作为模型，应用基于产品(Product-based)的控制方法进行分析，同时引入变折扣因子的EWMA控制算法，并通过对实际过程的模拟来检验这个算法的可行性。
半导体行业 批间控制 EWMA控制算法 折扣因子 混合产品制程
郑英 侯明阳
华中科技大学控制科学与工程系,武汉 430074
国内会议
昆明
中文
6-10
2008-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）