硬颗粒冲中蚀单晶硅表面断裂的晶体学特征

摘要：

选取单晶硅(111)面作为冲蚀靶面，对球形颗粒、角形颗粒垂直冲蚀靶面时产生的表面断裂形态与静态球形压痕进行比较，根据硬颗粒冲蚀时在样品表层材料中发生绝热应变的假设，探讨固体硬颗粒冲蚀表面断裂的晶体学特征和表层材料赫茨断裂与解理断裂之间的竞生关系。

关键词： 颗粒冲蚀 单晶硅 赫茨断裂 解理断裂 晶体学 表层材料

作者: 凌国平 沃银花 王幼文 郦剑

作者单位: 浙江大学材料系,浙江杭州 310027

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届全国耐磨材料大会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 959-961

在线出版日期: 2003-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）