光学材料亚表面损伤破坏性测量方法的比较研究

摘要：

HF恒定化学蚀刻速率法和角度抛光法是常用的两种亚表面损伤破坏性检测方法。本文通过对传统的两种方法进行改进，降低了外界环境和操作误差对测量结果的影响，从而有效提高了测量效率和准确性。最后针对典型光学材料，采用两种测量方法对试件的亚表面损伤进行测量，并对两种测量方法的测量结果进行了对比分析。

关键词： 光学材料 亚表面损伤 蚀刻速率 角度抛光 检测方法

作者: 李改灵 王卓 吴宇列 李圣怡

作者单位: 军事交通学院,天津300161 国防科学技术大学,湖南 长沙 410073

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十四届全国机械设计年会

会议地点: 徐州

会议语种:中文

页码: 202-203,162

在线出版日期: 2008-10-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）