用多弧离子镀技术制备TiN/Ni纳米复合超硬镀膜

摘要：

采用多弧离子镀技术，通过改变镍靶电流及其开启的时间，在高速钢基体上沉积出不同镍含量的TiN/Ni复合镀膜;用SEM、AFM、XRD和显微硬度计对该镀膜的显微形貌、相组成和显微硬度进行了观察和测试;且对TiN/Ni纳米复合镀膜的超硬机理进行了探索。结果表明：随着镍含量的增加，晶粒逐渐细化并达到纳米级尺寸;镀膜硬度与镍含量密切相关，当镍含量为1.4％时，硬度最高为47 GPa。

关键词： 高速钢 多弧离子镀 纳米复合镀膜 镍靶电流 镀膜硬度

作者: 郑国龙 王从曾 穆静静 黄建斌

作者单位: 北京工业大学材料科学与工程学院,北京 100022

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国机械工程学会2008年机械装备结构材料与表面技术研讨会

会议地点: 兰州

会议语种:中文

页码: 77-79

在线出版日期: 2008-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）