温度对等离子渗硼源极溅射行为及渗硼层成分的影响

摘要：

采用双层辉光等离子渗硼技术，以固体化合物FeB为硼源在Ti6Al4V合金基体上制备了渗硼层，研究了等离子渗硼过程中不同温度下源极的溅射行为及其对渗硼层的影响。通过对等离子溅射前后的源极及试样质量变化的测量，计算分析了不同温度下的源极溅射量和试样吸收率，采用光学图像分析仪和辉光光谱分析仪检测了不同试样温度下的渗硼改性层的厚度和元素分布。结果表明：温度越高源极溅射量越大、渗硼层越厚。

关键词： 钛合金 等离子渗硼 源极溅射量 FeB硼源 渗硼层成分 温度

作者: 马连军 詹科 李哲 秦林 唐宾

作者单位: 太原理工大学表面工程研究所,山西 太原 030024

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国机械工程学会2008年机械装备结构材料与表面技术研讨会

会议地点: 兰州

会议语种:中文

页码: 42-44

在线出版日期: 2008-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）