基于DSP的扫描探针显微镜中压电陶瓷管非线性校正技术及其实现

摘要：

随着纳米科技的高速发展,对作为微观表征和操纵技术的扫描探针显微镜(SPM)的精度提出了更高的要求.而压电陶瓷管的非线性(回滞、蠕变等)问题却严重影响了其扫描精度,特别在大范围扫描模式下更引起了特征扭曲.本文针对SPM压电陶瓷管非线性难题,提出了一种基于DSP技术,并利用其强大的数据处理能力在线实现了SPM压电陶瓷管非线性校正的方法.实验结果验证了本方法的有效性.

关键词： 扫描探针显微镜 压电陶瓷管 非线性校正 DSP技术

作者: 刘辉 黄自元 费敏锐

作者单位: 上海大学,机电工程与自动化学院,上海,200072

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国冶金自动化信息网2003年年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 265-267

在线出版日期: 2003-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）