低成本材料MEMS梁结构仿真开发与制备流程
理论分析MEMS微波悬臂梁开关的材料与MEMS功能极为相关的若干特性，用物理机理支持了多孔材料之引入，以达到器件高性能和衬底低成本的兼顾，并给出了引入后的制备流程全览：然后阐述了基于有限元方法的典型材料梁结构的功能分析，即用ANSYS软件对MEMS场分布进行了模拟，经过比较得出：MEMS开关悬臂闭合的驱动临界电压值随着金属悬臂材料杨氏模量的增大而增大，随着双层结构中两种材料参数匹配度的增大而减小。
微机电系统 有限元法 多孔硅材料 ANSYS MEMS
葛羽屏 纪江明
上海电子信息职业技术学院电子工程系，上海 201411 复旦大学计算语言学博士生，上海 200433
国内会议
哈尔滨
中文
1337-1339
2008-07-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）