沉积温度对LPCVD-BCx形貌和成键的影响

摘要：

以BCl3-C3H6-H2为反应体系，采用LPCVD法制备BCx材料。利用扫描电子显微镜(SEM)观察沉积产物的微观形貌，X射线光电子能谱(XPS)分析BCx材料的元素含量和化学结构，结合化学反应过程，探讨了导致沉积产物形貌、成分和成键状态差异的原因。 SEM结果表明，温度对沉积产物的形貌和生长速度具有显著影响。XPS结果表明，沉积温度既影响到BCx材料内B、C元素含量，也影响到各元素的化学结构。

关键词： 沉积温度 微结构 化学结构 扫描电子显微镜 微观形貌

作者: 刘永胜 张立同 成来飞 徐永东 杨文彬

作者单位: 西北工业大学超高温结构复合材料国防科技重点实验室，西安 710072

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十五届全国复合材料学术会议

会议地点: 哈尔滨

会议语种:中文

页码: 655-659

在线出版日期: 2008-07-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）