磁控溅射制备SiC薄膜的拉曼特性研究

摘要：

采用磁控溅射方法在Si基底上制备SiC薄膜，利用拉曼光谱分析了衬底温度和功率对SiC薄膜结构的影响。结果表明，薄膜中既含有晶型SiC又含有非晶型SiC，同时还含有石墨相和无定形碳。随着衬底温度的升高，SiC拉曼特征峰向低波数方向移动，薄膜晶粒尺寸减小，薄膜结晶程度提高。在衬底温度为室温条件下，功率对薄膜结构的影响较小。

关键词： 磁控溅射 拉曼光谱 衬底温度 薄膜结构 碳化硅

作者: 祝元坤 朱嘉琦 韩杰才 陈娅冰

作者单位: 哈尔滨工业大学复合材料研究所，哈尔滨 150001 烟台工程职业技术学院，烟台 264006

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十五届全国复合材料学术会议

会议地点: 哈尔滨

会议语种:中文

页码: 133-135

在线出版日期: 2008-07-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）