免清洗大直径内层透明电弧石英玻璃坩埚
拉制单晶硅用大直径石英玻璃坩埚，目前国内的传统产品(8英寸以上)都是不透明的。90年代初期，随着大规模集成电路的不断发展，对拉制单晶硅生产中使用的坩埚有新的要求，它要求内层光洁透明，无杂点、气泡，外壁乳白，中间呈明显夹层结构，且尺寸要求也越来越大，目前，国内在这项技术方面还不成熟，而国外公司经过技术改进后，开发生产出了这种产品，并逐步占领了国内市场。本文介绍了大直径内层透明电弧石英玻璃坩埚的制造技术。
石英玻璃坩埚 单晶硅 制造技术
欧阳葆华 刘俊龙
荆州市菲利华石英玻璃有限公司
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108-111
2004-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）