用高技术提高电子基础原料的档次,使电子行业步入良性发展轨道——等离子体技术在材料行业的应用
自从1958年出现了集成电路以来，集成电路的发展带来了电子计算机的微小型化，从而使人类社会掀开了信息时代新的一页。而电子材料是新型电子元器件基础产品领域中所用的以其电性能为主要应用的材料。本文介绍了等离子体技术在电子材料行业的应用，并就等离子体法制备产品举例。
集成电路 电子材料 等离子体技术
马兵
中国科学院过程工程研究所 北京 100080
国内会议
江苏无锡
中文
40-52
2004-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）