集成电路硅单晶用石英坩埚的现状和改进建议

摘要：

本文从用户的角度比较了国产石英坩埚和进口坩埚在产品标准、原料、纯度和产品性能方面的差异，并对国内石英坩埚企业的发展提出了一些建议。

关键词： 石英坩埚 集成电路 硅单晶

作者: 姜益群 何永增 陈岳来 刘培东

作者单位: 杭州海纳半导体有限公司,310027;宁波立立电子股份有限公司,315800

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国第二届高新技术用石英制品及相关材料技术与市场研讨会

会议地点: 江苏无锡

会议语种:中文

页码: 35-39

在线出版日期: 2004-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）