先进的现场供气设备——TCN640制氮机

摘要：

本文对安装于深圳赛意法微电子有限公司的TCN640制氮机进行了简介。该设备由AIRLIQuIDEJAPANLtd.(日本液空公司)总体设计、制造，国内技术人员消化改进工艺。具有设备配置先进。安装简单。安全高效。能耗低等优点，其产品氮气的纯度已超过了高纯氮的技术指标。

关键词： 制氮机 工艺流程 设备特点 技术改进 经济效益

作者: 李华

作者单位: 广州市粤港气体工业有限公司

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国工业气体工业协会2003年年会

会议地点: 武夷山

会议语种:中文

页码: 40-45

在线出版日期: 2003-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）