关键词： N型高阻 硅 单晶生长
作者: 王炎 魏斌
作者单位: 半导体材料厂、所
会议类型: 国内会议
会议名称: 1998年全国半导体硅材料学术会议
会议地点: 上海
会议语种:中文
页码: 55～56
在线出版日期: 1998-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）