会议专题

弧源电流对多弧离子镀TiN薄膜性能的影响

本文在国产AIP-01型多弧离予镀膜机上,采用不同的弧电流在不锈钢和高速钢基体上镀覆TiN薄膜,对其硬度、表面形貌及结构、摩擦系数等进行测试,研究了弧源电流刘TiN薄膜性能的影响。结果表明:大弧源电流可以提高基体表面的温度,随温度升高,薄膜由疏松的葡萄状结构逐渐向致密的柱状晶过渡,薄膜的硬度提高,但是随弧源电流的增大,薄膜表面熔滴增多,表面粗糙,摩擦系数增大,因此,控制最佳弧源电流而获得最好的薄膜性能是离子镀TiN薄膜的关键问题之一。

金属防腐 离子镀膜 孤源电流 柱状晶粒

史新伟 李春明 邱万奇 刘正义

华南理工大学,广东 广州 510641

国内会议

第五届国际有序金属间化合物及先进材料国际会议

成都

中文

132-136

2003-10-05(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)