聚合物微纳光学器件的纳米压印微复制技术研究

摘要：

纳米压印微复制技术具备模具制备技术的优点，非常适合于各种聚合物类微光学器件的批量低成本制备，本文首先介绍了聚合物微透镜阵列、聚合物光子晶体薄膜和聚合物光波导等典型微光器件的纳米压印微复制技术方法,然后重点论述了一种新型聚合物柔性光栅光波导器件的微复制制备方法，给出了相应的技术路线和加工工艺方法，进行了具体的试验研究，得到了满意的结果。

关键词： 聚合物 微光器件 纳米压印 微复制 光波导

作者: 刘月明 张淑琴 张在宣

作者单位: 中国计量学院光学与电子科技学院 杭州 310018

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国第四届塑料光纤、聚合物光子学会议

会议地点: 河北秦皇岛·南戴河

会议语种:中文

页码: 155-161

在线出版日期: 2008-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）