紫外固化型聚合物弯波导的设计与制备
本文以紫外固化环氧树脂UV15为波导包层材料，以一种交联的负性光刻胶SU-8为波导芯层材料，设计了波导并讨论了材料及波导的插入损耗、弯曲损耗、漏泄损耗、散射损耗、以及色散损耗。紫外固化型聚合物为制备聚合物波导提供一种简单、快速、可控的工艺过程。通过直接光刻的技术，制各了60度弯曲的聚合物波导器件，观测到良好的波导形貌，并测试了1550nm波长下波导输出信号的近场光斑。
弯曲波导 紫外光刻技术 聚合物
衣云骥 陈长鸣 赵航 孙小强 张大明
集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区，吉林大学电子科学与工程学院 长春 130012
国内会议
河北秦皇岛·南戴河
中文
128-132
2008-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）